纳米加工的精度包括（）、（）。

纳米加工的精度包括（）、（）。
A.纳米级尺寸精度
B.纳米级几何形状精度
C.纳米级表面质量
D.纳米级位置精度
正确答案：纳米级尺寸精度；纳米级几何形状精度；纳米级表面质量