分辨率最高的物理信号是（）为（）nm，分辨率最低的物理信号是（）为（）nm以上。

分辨率最高的物理信号是（）为（）nm，分辨率最低的物理信号是（）为（）nm以上。
正确答案：俄歇电子或二次电子，5nm，特征X射线，100nm