采用激光偏振检测系统可确定硅片表面疵病的性质，即区分疵病是划痕、裂痕、麻点、灰尘、油污膜层或其他缺陷。

采用激光偏振检测系统可确定硅片表面疵病的性质，即区分疵病是划痕、裂痕、麻点、灰尘、油污膜层或其他缺陷。
A.正确
B.错误
正确答案：正确