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实验前必须对真空室进行烘烤,主要目的是()。

实验前必须对真空室进行烘烤,主要目的是()。
A.烘干待蒸镀材料,除去水分
B.提高薄膜生长的温度
C.去除吸附在镀膜室内壁上的水分子和气体分子
D.以上都是
正确答案:去除吸附在镀膜室内壁上的水分子和气体分子