利用真空泵联合扩散泵对镀膜室抽真空，当抽到一定程度时，镀膜室内的压强长时间保持不变，这主要是因为（）。

利用真空泵联合扩散泵对镀膜室抽真空，当抽到一定程度时，镀膜室内的压强长时间保持不变，这主要是因为（）。
A.热偶真空计出现故障
B.电离真空计出现故障
C.真空系统出现漏气，系统气体漏气率等于气体抽气率，漏气与抽真空达到动态平衡
D.以上都是
正确答案：真空系统出现漏气，系统气体漏气率等于气体抽气率，漏气与抽真空达到动态平衡