离子镀把蒸发源作为阳极，在P等于1Pa的Ar中向基板施加很高的负电压，发生（）。

离子镀把蒸发源作为阳极，在P等于1Pa的Ar中向基板施加很高的负电压，发生（）。
A、汤生放电
B、弧光放电
C、电晕放电
D、辉光放电
正确答案：辉光放电