二氧化硅可以用作扩散掩蔽膜的原因是（）

二氧化硅可以用作扩散掩蔽膜的原因是（）
A、杂质在二氧化硅中的扩散系数等于其在硅中的扩散系数
B、杂质硅中的扩散系数远小于其在二氧化硅中的扩散系数
C、杂质在二氧化硅中不扩散
D、杂质在二氧化硅中的扩散系数远小于其在硅中的扩散系数
正确答案：杂质在二氧化硅中的扩散系数远小于其在硅中的扩散系数