等离子体CVD与热CVD相比，下列描述不正确的是：

等离子体CVD与热CVD相比，下列描述不正确的是：
A、反应速率高;
B、工件温度低;
C、工件应力小。
D、沉积材料纯;
正确答案：沉积材料纯;