表征溅射特性的基本参数主要有（）

表征溅射特性的基本参数主要有（）
A、溅射阈值
B、溅射率
C、溅射原子能量
D、溅射原子速度
正确答案：溅射阈值|溅射率|溅射原子能量|溅射原子速度