电子束加工装置的控制系统包括：

电子束加工装置的控制系统包括：
A、束流聚焦控制
B、束流位置控制
C、束流强度控制
D、工作台位移控制
正确答案：束流聚焦控制|束流位置控制|束流强度控制|工作台位移控制