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在微电子机械系统（MEMS）中，材料以（）为主。

在微电子机械系统（MEMS）中，材料以（）为主。
A、钼
B、钨
C、铁
D、硅
正确答案：硅

标签：微电子材料机械

上一条：齿轮加工方法通常有（）

下一条：根据传感技术所蕴涵的基本效应，可以将传感器分为三种类型，下列类型中（）不在其中。