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有时超导薄膜受到压应力会提高其转变温度Tc,以下哪种制膜方法有可能提高Tc?

有时超导薄膜受到压应力会提高其转变温度Tc,以下哪种制膜方法有可能提高Tc?
A、蒸发镀膜
B、溅射镀膜
C、离子镀膜
D、以上均可
正确答案:溅射镀膜|离子镀膜