若想得到较致密的薄膜材料，以下物理制备工艺应选择哪种？

若想得到较致密的薄膜材料，以下物理制备工艺应选择哪种？
A、蒸发镀膜
B、溅射镀膜
C、离子镀膜
D、以上均可
正确答案：溅射镀膜|离子镀膜