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若想使薄膜更好的附着于基板上,以下物理制备工艺应选择哪种?

若想使薄膜更好的附着于基板上,以下物理制备工艺应选择哪种?
A、蒸发镀膜
B、溅射镀膜
C、离子镀膜
D、以上均可
正确答案:离子镀膜