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下列细微加工技术中,()属于反应加工(即体积不变)。

下列细微加工技术中,()属于反应加工(即体积不变)。
A.高速微粒子加工
B.溅射加工
C.蚀刻技术(光、电子束)
D.电镀
正确答案:C