电子束特别适合于加工半导体材料，其主要原因是电子束加工（）。

电子束特别适合于加工半导体材料，其主要原因是电子束加工（）。
加工效率高
工件变形小
在真空条件下进行
可控性好
正确答案：在真空条件下进行