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在进行纳米级测量非导体的零件表面形貌时,常采用的测量仪器为()

在进行纳米级测量非导体的零件表面形貌时,常采用的测量仪器为()
光学显微镜
扫描隧道显微镜
原子力显微镜
正确答案:原子力显微镜