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传统称为100级的洁净室,在新《洁净规范》中规定,对于大于或等于5μm粒径的粒子的最大浓度限值为()。

传统称为100级的洁净室,在新《洁净规范》中规定,对于大于或等于5μm粒径的粒子的最大浓度限值为()。
A.0
B.除非大流量多次采样测试,否则数值不可信
C.5pc/m3
D.29pc/m3
正确答案:D