写出镀膜过程应注意哪些参数变化？

写出镀膜过程应注意哪些参数变化？
正确答案：镀膜过程中应注意真空度是否稳定、光量走值是否平滑无波动、蒸发速率稳定在设定范围内、电子枪能量是否稳定、离子源的各参数变化。