离子源使用结束后，机器会自动充入氩气对其冷却，冷却的目的是什么？

离子源使用结束后，机器会自动充入氩气对其冷却，冷却的目的是什么？
正确答案：主要目的是快速冷却，由于氩气是不活泼性气体，很难与离子源部件发生氧化。