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真空室内部清扫不干净,可能会导致以下哪些结果?()

真空室内部清扫不干净,可能会导致以下哪些结果?()
A、机器抽速慢
B、产品表面质量差
C、机器效率降低
D、分光特性不重复
正确答案:A,B,C,D