集成电容主要有哪几种结构？

集成电容主要有哪几种结构？
正确答案：①金属-绝缘体-金属（MIM）结构
②多晶硅/金属-绝缘体-多晶硅结构
③金属叉指结构
④PN结电容
⑤MOS电容。