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杂质原子在半导体中的扩散机理比较复杂，但主要可分为（）扩散和（）扩散两种。

杂质原子在半导体中的扩散机理比较复杂，但主要可分为（）扩散和（）扩散两种。
正确答案：替位；间隙
标签：机理 杂质 间隙
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