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光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）

光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）
A.电子束曝光技术
B.离子束曝光技术
C.X射线曝光技术
正确答案：C

标签：机械制造技术基础技术离子束

上一条：在进行纳米级测量两个导体的表面形貌时，常采用的测量仪器为（）

下一条：RPM的含义是（）