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以下哪种检测方式的激发源不是X射线？

以下哪种检测方式的激发源不是X射线？
XRD
EDX
SIMS
XPS
正确答案：SIMS

标签：半导体技术导论射线方式

上一条：AFM可观测样品内部形貌特征。

下一条：EDX通常是加装在SEM中配合使用的。