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以下常用来检测样品表面晶体结构的方法是（）？

以下常用来检测样品表面晶体结构的方法是（）？
XRD
EDX
SIMS
AES
正确答案：XRD

标签：半导体技术导论晶体样品

上一条：EDX通常是加装在SEM中配合使用的。

下一条：业界常用SIMS作为半导体掺杂浓度分布的检测方式。