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硅烷法的成本低,但是安全性差。
硅烷法的成本低,但是安全性差。
A.正确
B.错误
正确答案:错误
标签:
半导体材料
硅烷
安全性
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硅的化学提纯技术的区别主要是中间化合物不同,西门子法是最常用的方法。
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区熔提纯利用分凝原理。