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正胶的感光区域在显影时不溶解，负胶的感光区域在显影时溶解。
正胶的感光区域在显影时不溶解，负胶的感光区域在显影时溶解。
A.正确
B.错误
正确答案：错误
标签：
微电子工艺
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关于光学光刻，下列哪种方法可以获得高分辨率？
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IC芯片的横向结构是通过（）工艺实现的。（填2个字）