铜铟镓硒（CIGS）薄膜组件是在CIS（CuInSe2）的基础上发展起来的，指使用化学物质Cu（铜）、In（铟）、Ga（镓）、Se(硒)通过共蒸发或后硒化工艺在衬底上形成吸收层的光伏电池技术。分为（）法和（）法两种。

铜铟镓硒（CIGS）薄膜组件是在CIS（CuInSe2）的基础上发展起来的，指使用化学物质Cu（铜）、In（铟）、Ga（镓）、Se(硒)通过共蒸发或后硒化工艺在衬底上形成吸收层的光伏电池技术。分为（）法和（）法两种。
正确答案：溅射#共蒸发