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其它知识竞赛
扩散R□偏低，应做如下调整：（）
扩散R□偏低，应做如下调整：（）
A.减小扩散温度
B.增大小N2流量
C.减小大N2流量
D.减小扩散时间
正确答案：AB
标签：
流量
温度
时间
上一条：
测试后方阻偏大，原因可能有：
下一条：
扩散后硅片间方阻不均的原因是：