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扩散后硅片间方阻不均的原因是：

扩散后硅片间方阻不均的原因是：
A.扩散温度不均
B.石英管漏气
C.气流不均
D.扩散时间太长
正确答案：AB
标签：硅片 气流 温度
上一条：扩散R□偏低，应做如下调整：（）
下一条：出院患者床单位处理错误的是（）