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将介电材料溶解于有机溶剂中,以旋涂的方式涂抹在晶片表面,利用流态介电材料有很好的台阶填充能力,使晶片获得平坦化的技术是:
将介电材料溶解于有机溶剂中,以旋涂的方式涂抹在晶片表面,利用流态介电材料有很好的台阶填充能力,使晶片获得平坦化的技术是:
A.反刻
B.高温回流
C.旋涂玻璃法
D.化学机械抛光
正确答案:A
标签:
晶片
材料
台阶
上一条:
生产中进行SOG进行平坦化,常常采用的结构是:
下一条:
平坦化时,先填充一层牺牲材料,再进行高处刻蚀的方法是: