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平坦化时，先填充一层牺牲材料，再进行高处刻蚀的方法是：

平坦化时，先填充一层牺牲材料，再进行高处刻蚀的方法是：
A.反刻
B.高温回流
C.旋涂玻璃法
D.CMP
正确答案：A

标签：高温牺牲玻璃

上一条：将介电材料溶解于有机溶剂中，以旋涂的方式涂抹在晶片表面，利用流态介电材料有很好的台阶填充能力，使晶片获得平坦化的技术是：

下一条：采用离心力来填充图形地处，温度比较低，能够获得表面形貌的平滑效果的平坦化技术是：