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采用离心力来填充图形地处,温度比较低,能够获得表面形貌的平滑效果的平坦化技术是:
采用离心力来填充图形地处,温度比较低,能够获得表面形貌的平滑效果的平坦化技术是:
A.反刻
B.高温回流
C.旋涂玻璃法
D.CMP
正确答案:A
标签:
离心力
形貌
高温
上一条:
平坦化时,先填充一层牺牲材料,再进行高处刻蚀的方法是:
下一条:
根据平坦化程度不同出现的平坦化,可分为: