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采用离心力来填充图形地处,温度比较低,能够获得表面形貌的平滑效果的平坦化技术是:

采用离心力来填充图形地处,温度比较低,能够获得表面形貌的平滑效果的平坦化技术是:
A.反刻
B.高温回流
C.旋涂玻璃法
D.CMP
正确答案:A