下列对器件尺寸参数描述正确的有（）

下列对器件尺寸参数描述正确的有（）
A.L是器件的沟道长度，W是器件的宽度
B.tox是器件栅氧化层的厚度，由工艺决定
C.一般所说的90nm工艺，其中的90nm是指器件的最小沟道长度L
D.一般所说的90nm工艺，其中的90nm是指器件的栅氧化层的厚度tox
正确答案：L是器件的沟道长度，W是器件的宽度；tox是器件栅氧化层的厚度，由工艺决定；一般所说的90nm工艺，其中的90nm是指器件的最小沟道长度L