硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。

硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。
A.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工
B.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工
C.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构
D.体刻蚀加工可获得低纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较高纵横比的结构
正确答案：C