光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。

光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。
A.电子束曝光技术
B.离子束曝光技术
C.X射线曝光技术
D.γ射线曝光技术
正确答案：B