光刻加工的工艺过程为（）。

光刻加工的工艺过程为（）。
A.①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
B.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
C.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原
D.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦清洗
正确答案：B