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在制备完好的单晶衬底上,延其原来晶向,生长一层厚度.导电类型.电阻率及晶格结构都符合要求的新单晶层,该薄膜制备方法是()。

在制备完好的单晶衬底上,延其原来晶向,生长一层厚度.导电类型.电阻率及晶格结构都符合要求的新单晶层,该薄膜制备方法是()。
A、外延
B、热氧化
C、化学气相淀积
D、物理气相淀积
正确答案:外延
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