干-湿-干氧化过程中，第一次干氧氧化的目的是（）。

干-湿-干氧化过程中，第一次干氧氧化的目的是（）。
A、形成所需的二氧化硅膜厚
B、获得致密的二氧化硅表面
C、提高二氧化硅和光刻胶的黏附性
D、改善二氧化硅和硅交界面的性能
正确答案：获得致密的二氧化硅表面