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板式PECVD整个工艺过程在五个腔内完成，没有的是（）

板式PECVD整个工艺过程在五个腔内完成，没有的是（）
A、进料腔
正确答案：进料腔

标签：进料板式过程

上一条：减反射膜提高了对太阳光的利用率，有助于（）光生电流密度，起到（）电流进而提高转换效率作用（）

下一条：硅烷与氨气在（）℃以上时反应生成Si3N4，覆盖在硅表面上。