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硅烷与氨气在()℃以上时反应生成Si3N4,覆盖在硅表面上。
硅烷与氨气在()℃以上时反应生成Si3N4,覆盖在硅表面上。
A、200
B、400
C、600
D、800
正确答案:800
标签:
硅烷
氨气
上一条:
板式PECVD整个工艺过程在五个腔内完成,没有的是()
下一条:
similar的意思是()