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局部氧化工艺的缺点是会形成鸟嘴,造成场氧区对有源区的侵蚀,从而使有源区之间的距离增加。()
局部氧化工艺的缺点是会形成鸟嘴,造成场氧区对有源区的侵蚀,从而使有源区之间的距离增加。()
正确答案:正确
标签:
鸟嘴
局部
缺点
上一条:
有理由()经济将继续改善,失业率将下降。
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在硅片中刻蚀出浅槽并在浅槽中淀积氧化物材料起到器件隔离的技术称为STI技术。()