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局部氧化工艺的缺点是会形成鸟嘴,造成场氧区对有源区的侵蚀,从而使有源区之间的距离增加。()

局部氧化工艺的缺点是会形成鸟嘴,造成场氧区对有源区的侵蚀,从而使有源区之间的距离增加。()
正确答案:正确