在微电子领域，最早使用的衬底材料是（），应用最多的高频高速化合物半导体衬底是（），最普遍使用的半导体衬底材料是（）。

在微电子领域，最早使用的衬底材料是（），应用最多的高频高速化合物半导体衬底是（），最普遍使用的半导体衬底材料是（）。
A、硅；砷化镓；硅
B、硅；氮化镓；锗
C、锗；砷化镓；硅
D、锗；氮化镓；硅
正确答案：锗；砷化镓；硅