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硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于体刻蚀加工对基体材料进行加工,而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工。

硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于体刻蚀加工对基体材料进行加工,而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工。
A、正确
B、错误
正确答案:A