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微纳加工是以平面集成加工为代表的非传统的加工方法,加工形成的部件或结构本身的尺寸在()量级。

微纳加工是以平面集成加工为代表的非传统的加工方法,加工形成的部件或结构本身的尺寸在()量级。
A、纳米
B、微米
C、微米或纳米
正确答案:C