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光刻工艺的基本要素主要包括（）。

光刻工艺的基本要素主要包括（）。
A、对准系统
B、光源
C、光刻胶
正确答案：ABC

标签：光刻光源基本要素

上一条：微纳加工是以平面集成加工为代表的非传统的加工方法，加工形成的部件或结构本身的尺寸在（）量级。

下一条：刻蚀法图形转移技术的关键刻蚀参数：（）。