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刻蚀法图形转移技术的关键刻蚀参数：（）。

刻蚀法图形转移技术的关键刻蚀参数：（）。
A、掩膜的抗刻蚀比和刻蚀的方向性
B、刻蚀的方向性
C、掩膜的抗刻蚀比
正确答案：A

标签：方向性图形参数

上一条：光刻工艺的基本要素主要包括（）。

下一条：间接加工技术能够绕过现有设备加工能力极限，意指直接光刻技术，其图形结构的分辨率决定于某种光刻方法的分辨率。（）