简述你所在工艺的工艺质量要求？你如何检查你的工艺质量？

简述你所在工艺的工艺质量要求？你如何检查你的工艺质量？
正确答案：外延要求：1.集电极击穿电压要求
集电极串联电阻要小。
高频大功率小型化。
刻蚀要求：1.图形转换的保真度高
选择比高。
刻蚀速率高。
刻蚀剖面。
刻蚀偏差。
刻蚀因子大。
均匀性。