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光刻工艺一般都要经过涂胶、()、曝光、()、坚膜、腐蚀、()等步骤。

光刻工艺一般都要经过涂胶、()、曝光、()、坚膜、腐蚀、()等步骤。
正确答案:前烘;显影;去胶